上海節能技術展關注到歐洲于今年6月啟動了一項總投資達6380萬美元的重大科研計劃"GENESIS"，該計劃由法國研究機構CEA-Leti牽頭，旨在從根本上改善歐洲半導體產業的環境足跡。這項為期三年的計劃集結了來自歐洲半導體領域的58個成員單位，包括大型企業、中小企業、研究機構和高等院校，共同致力于半導體制造過程的綠色技術突破。
實時排放追蹤與先進監測技術
GENESIS計劃針對芯片制造的五個關鍵階段制定了全面的技術發展路線圖，涵蓋材料開發、化學制程、廢棄物監測和處理、氣體排放控制以及最終廢棄物處理。該計劃的核心創新之一是開發實時排放追蹤系統，通過先進的制程監控和傳感技術，使制造商能夠在生產過程中即時發現環境沖擊，而非傳統的事后檢測方式。
這項實時監測技術整合了高精度傳感器和數據分析算法，能夠對生產過程中的氣體排放、化學品消耗和能源使用進行毫秒級監控。通過建立數字孿生模型，系統可以預測潛在的環境風險并提供優化建議，從而實現從被動治理到主動預防的轉變。
廢棄物資源化與化學品替代創新
減少廢棄物是GENESIS計劃的另一優先課題。研究團隊正在開發先進的回收系統，針對通常被丟棄的溶劑、氣體和研磨液進行資源化利用。新型回收技術采用分子級分離和純化工藝，能夠將使用過的化學品恢復到半導體級純度，實現閉環循環使用。
在材料創新方面，計劃致力于開發全氟/多氟烷基物質（PFAS）的替代品，并降低材料的全球變暖潛能值（GWP）。研究團隊通過計算材料科學和綠色化學原理，設計新型環保化學品，在保持性能的同時顯著降低對環境的影響。這些創新將有效改善半導體制造中一些最具挑戰性的工藝環節的環境表現。
關鍵原材料替代與供應鏈韌性
GENESIS計劃還著力解決歐洲在關鍵原材料方面的供應鏈脆弱性問題。通過材料創新和工藝優化，研發團隊正在開發減少對稀缺原材料依賴的技術方案。具體措施包括開發新型半導體材料、提高材料利用效率，以及探索基于豐富元素的替代材料體系。
這些技術突破將顯著增強歐洲半導體供應鏈的韌性和可持續性。通過建立多元化的材料供應體系和循環利用模式，計劃旨在降低地緣政治風險和市場價格波動對產業的影響。
技術成果與產業影響
據CEA-Leti可持續電子項目主任兼計劃負責人Laurent Pain介紹，GENESIS計劃預計將推出約45項創新技術成果，涵蓋從材料到制造的全產業鏈環節。這些技術成果將共同提高整個半導體芯片價值鏈的可持續性表現。
隨著芯片在人工智能系統、清潔能源技術等各個領域的廣泛應用，半導體制造的環境表現正受到日益嚴格的審查。上海節能技術展了解到GENESIS計劃的技術創新將為全球半導體產業提供可行的綠色發展路徑，推動行業向更加環保、高效的方向轉型。這項計劃的成功實施，不僅將鞏固歐洲在半導體技術領域的領先地位，也將為全球電子產業的可持續發展樹立新的標桿。
來源：產業永續發展整合資訊網
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